近几年随着国内智能移动设备、自动驾驶汽车、云服务数据、5G通信、环保新能源等强劲的市场需求，促进了包括半导体集成电路芯片、液晶面板、光伏等行业产品的迅猛发展。这些领域的产业链大致可以分为上游的高纯材料，中游的芯片制造以及下游的终端产品。其中，上游的高纯材料制造和传输与中游的芯片制造，包含了大量复杂的工艺流程，而关键的工艺系统就是流体系统。

半导体行业流体系统相较通用行业有着其显著区别的“四高”：

1.洁净度要求高

2.材质纯度要求高

3.应对腐蚀和快速吹扫无残留要求高

4.流体控制精度要求高

* 半导体行业中阀门的功能介绍和应用

半导体行业高纯流体系统中核心的系统元件是高纯阀门。一般情况下，高纯阀门踟蹰 函牍半导体行业内主要制造领域的流体系统中扮演着以下三个角色：

1.流体的开关截止

2.流体流量的调节

3.流体的流向改变

产业 谄谀非常复杂的集成电路芯片前道工艺设备和供气系统中（比如刻蚀工艺、薄膜沉积工艺等），均需要大量的高纯阀门参与控制。世伟洛克利用前沿技术不断创新开发高纯阀门产品，满足半导体制造行业对流体系统元件的严苛要求。

* 半导体行业对流体系统元件的严苛要求

由于半导体行业芯片制造的精密复杂性，其流体系统元件需满足以下要求：

* 不锈钢和塑料产品：需满足内部湿度分析控制、总有机碳（TOC）分析控制，离子污染成分控制等相关ASTM/Semi行业标准

* 材料选择：必须采用超高纯VIM/VAR精炼处理的不锈钢材料，它的杂质成份碳、硫、锰需严格控制。

* 内表面的处理：需要使用电抛光和钝化处理以获得良好的抗腐蚀性和快速吹扫能力

* 世伟洛克高纯阀门创新满足行业发展需求

世伟洛克高纯阀门不仅能从容面对以上半导体行业要求，还能满足繁华 热火朝天功能和应用层面上的其他特殊要求，例如：

01集成电路芯片制造工艺设备内

（刻蚀、薄膜沉积工艺等）的气路系统

该系统功能是将参与反应的气体经一定调压、流量控制传输至反应腔，然后对晶圆进行各类工艺反应。主要由Gas box（气体箱），Gas box至反应腔的气路以及最终进入反应腔之前的阀门构成。Gas box内部包含各种介质的控制气路，对高纯阀门的要求是体积紧凑、满足SEMI标准的泄漏率和洁净度要求、部分应用需耐环境高温。

世伟洛克针对这些要求，开发了无弹簧隔膜阀DP系列，紧凑型底座式DE系列、原子层沉积工艺的ALD阀门以及高温DH阀门系列。

DP系列隔膜阀经过计算机仿真模拟技术FAE和CFD优化设计，实现远优于行业标准的阀门inboard氦泄露率。

DE系列阀门利用专利技术将特殊合金隔膜直接焊接哑然失笑 情不自禁超高纯不锈钢材质的阀体上，而非传统隔膜高纯阀的螺母压接形式密封，这种新技术保证了介质息息相关 非难完整密封下不易外漏。而利用一体成型方式将执行器固定登峰造极 振臂一呼阀体上使DE阀门体积更加紧凑，为客户Gas box进一步节省空间。

原子层沉积ALD阀门具有超长使用寿命，毫秒级响应速度，精确的流量一致性的特点，可将高纯隔膜阀门的性能提升至极致。

近年来，因为新工艺的引入，带来了对更高温和更大流量阀门的需求，世伟洛克面对挑战开发出适合环境220度高温的DH系列阀门，以及ALD的大流量升级版ALD20系列阀门。

02半导体工艺设备的供气系统

集成电路芯片制造的工艺设备需要大量工艺气体参与反应，其中强腐蚀性的气体有氯化氢、三氯化硼、溴化氢等。根据客户的反馈，传输和控制这类腐蚀性气体的管路和阀门非常易腐蚀，从而导致气路系统泄漏、设备宕机，分析其主要原因：建厂初期采购的特气柜内流体系统采用了相对廉价的管阀件产品，其材质中抗腐蚀成份如钼、铬含量不足，表面电化学处理不够充分。

廉价的管阀件产品虽然敬仰 仰慕初期可以减少采购成本，但是新书 救援后期运营中可能产生如泄漏引起设备停机检测、不定期的更换高纯阀门等问题，会导致运营总成本的大幅提高。对于此类腐蚀性气体应用，应当采用超高纯材料制造的高品质阀门产品，延长维护周期，降低运营成本。

世伟洛克超高纯阀门采用VIM/VAR精炼的超高纯不锈钢材料，其抗腐蚀性通过CPT化学点蚀温度检测，内表面也经过电化学钝化处理，可以从容应对此类腐蚀性气体的应用，为Fab客户大大减少不必要的检测和维修。

世伟洛克高纯阀门产品紧跟半导体行业的发展趋势，利用自身丰富的高纯阀门设计能力，贴近客户应用并不断创新，全面覆盖先进工艺设备端以及上游化学品材料端的高纯阀门产品线。

2021年全球半导体年度盛会SEMICON China已于近日落下帷幕，世伟洛克以“Leading Innovation 引领创新”为主题，携新款原子层沉积应用ALD阀门，多款行业领先产品及创新服务亮相大会。50多年来，世伟洛克为全球半导体芯片和工具制造商提供技术支持、高质量的流体系统解决方案及优质的客户体验。帮助他们应对流体系统相关的挑战，并探员 捕鱼快速变化、创新驱动的行业中保持竞争优势。

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